مقایسه میکروسکوپ های الکترونی با میکروسکوپ اپتیکی:
- در میکروسکوپ نوری شاید بتوان با تغییر انحنای (تقعر و تحدب) سطح عدسی ها و تعداد آن ها بزرگ نمایی تصاویر را به هر مقدار زیاد کرد اما به علت بلند بودن طول موج نور عملاً تصاویر در بزرگ نمایی های بالای ۲۰۰۰ وضوح خود را از دست می دهد.
- در میکروسکوپ الکترونی به جای نور از شعاع الکترونی استفاده می‌شود. چون طول موج الکترون بسیار کوتاه است میتوان در میکروسکوپهای الکترونی بزرگنمائی تصاویر را بسیار بالا برد (تا حد یک میلیون برابر در بعضی از میکروسکوپ های الکترونی و یا بیشتر).
- الکترون بر خلاف نور نمیتواند به آسانی در هوا حرکت کند، در نتیجه باید در مسیر حرکت الکترون و محفظه نمونه خلأ بسیار قوی ایجاد کرد
بخش های مهم (SEM):
- تفنگ الکترونی
- عدسی ها
- دهانه ها
- سیم پیچ های روبشی
- سیستم ایجاد خلا
- محفظه نمونه
- نمایشگر